IC载板压机的真空系统
- 分类:行业动态
- 发布时间:2022-05-12 15:43
IC载板压机的真空系统
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现在IC载板的厂家购买层压机都要求有真空层压这一功能,真空下的压合能解决很多工艺上的问题,今天小编给大家介绍一下IC载板压机的真空系统。
1. 真空室完全密封,不仅要求压机框架有足够强度和良好的密封性能,而且要求真空门.维修门等具有良好的密封性能;
2. 抽真空管道及阀门具有良好的密封性能;
3. 真空泵具有良好的性能,有足够的抽真空能力。目前压机对真空度要求很高,抽真空能力一般要在5-6min可以抽到30torr,极限真空可以抽到10torr以上。在真空泵的选型上大多数压机包括KITAGAWA、OEM、ACCUDYNE等压机均采用BUSCH公司生产的真空泵,BUSCH泵性能不错,结构简单,维修方便,但由于BUSCH泵是叶片泵,需要良好的润滑性能,而抽真空时空气中的水份容易积在真空泵油中,造成真空泵中油容易乳化甚至碳化,这就使得叶片和泵体润滑性能减弱,形成恶性循环,造成叶片容易磨损,油气分离器破损。这就要求对真空泵进行精心维护,特别是要加强对真空泵的排水工作。
另外一种真空泵就是水环式真空泵,这种泵最适合层压机抽真空。因为它不存在润滑及腐蚀两个问题,只是这种真空泵使用条件比较高,需要冷却水且要在5℃-15℃之间,而且水环泵抽真空需要电机功率也比较大,价格又贵,所以目前选用真空泵从购买成本考虑大多仍选用BUSCH泵。
控制系统:层压机主要要控制压力、温度2个参数,有的压机还控制真空度。压力、温度2个参数变化都是用电脑控制, 德国机除用电脑控制外,还可以用DCP来控制。
上一个:
IC载板压机的精度
下一个:
半导体封装技术:IC载板
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